帶自動點膠6英寸安賽斯可編程勻膠機

產品介紹：

名稱：6英寸可編程勻膠機

型號：HC160PE

應用： HC160PE可編程勻膠機是在HC160SE的基礎上，增加一路自動點膠系統，滿足小批量實驗制樣的需求。被設計為涂膠處理基片尺寸為直徑5mm~160mm（6英寸）或對應的方片，使用工業級直流馬達和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。

產品概述：

帶自動點膠6英寸安賽斯可編程勻膠機制膜的原理：在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高質量薄膜涂層的制備。

HC160PE可編程勻膠機，被設計為涂膠處理基片尺寸為直徑5mm~160mm或對應的方片，使用工業級直流馬達和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。該型號勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。

??HC160PE勻膠機設計標準為結構緊湊、簡單易用，程控操作，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出，具有優異的性價比。亦可提供分體式設計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。

產品特點：

● 設計緊湊，可輕松放置在手套箱內使用；

● HDPE高分子材料旋涂內腔，耐腐蝕；采用分體式結構，易清潔和移動；

● 4.3英寸彩色觸屏控制，易學易用；可精確設置實驗參數，運行狀態實時顯示；

● 采用高級PLC程序控制，旋涂速度、旋涂時間、加速度等工藝參數可編程，實現快速旋涂和多步編程旋涂；

● 具有電機進膠保護功能；管路易疏通結構設計；

● 轉速、加速度、時間、真空泵關/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作。

● 可設置用戶密碼保護功能；

● 帶真空檢測安全互鎖，當真空度不足時，設備停止運行，防止飛片；且此功能可在設置中關閉；

● 帶蓋子檢測安全互鎖，當沒有關好蓋子時，設備停止運行，確保操作安全；且此功能可在設置中關閉；

● 帶排廢接口；

● 帶一路自動點膠系統；

技術參數：

● 適用晶元尺寸范圍：直徑5~160mm；

● 旋涂速度：100~12000rpm；轉速分辨率：1rpm；

● 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

● 最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

● 內腔直徑220mm，內腔采用獨特的凹面防濺設計；

● 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

● 電源輸入：AC200-230V

自動點膠系統參數：

● 流量范圍：0.006-1340毫升/分鐘；

● 流量精度：＜0.5%；

● 轉速范圍：0.1～350（轉/分鐘）；

● 轉速分辨率：0.1（轉/分鐘）；

● 電源電壓：AC 220V±10%,50Hz/60Hz（標配）；

● 功 率：小于40W；

● 外控接口：外控輸入電平5V、12V(標配)、24V（選配）；

● 外控數字通訊接口：RS485通訊，支持MODBUS協議；

● 環境溫度：0 ～ 40℃ ；

● 相對濕度：＜80%；

● 防護等級：IP31；

● 機箱尺寸：（長×寬×高）255mm×181mm×198mm；

● 重 量：4.7KG。

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